中芯國際新突破! 測試大陸首款國產曝光機採「浸沒式技術」
中廣新聞網
英國「金融時報」引述消息人士的話報導,「中芯國際」正在測試中國大陸首款國產先進晶片曝光生產設備。
報導說,正在測試的這款使用大陸內部技術研發的曝光機,採用的是浸沒式技術,類似於荷蘭「艾斯摩爾」公司使用的技術。
報導引述一名知情人士的話表示,雖然中芯國際的試驗,初步結果令人鼓舞,但目前還不清楚這款大陸自行研發的曝光機,是否、以及何時,能用於大規模晶片生產。
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